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       為了讓更多的用戶了解認識氮化�,從而進一步擴大氮化硅的應用范圍,將簡單的介紹一下氮化硅,希望可以幫助到廣大用戶�
       氮化硅的晶胞參數與單質硅不同。因此根據沉積方法的不同,生成的氮化硅薄膜會有產生張力或應力。特別是當使用等離子體增強化學氣相沉積技術時,能通過調節(jié)沉積參數來減少張力。利用溶膠凝膠法制備出二氧化�,然后同時利用碳熱還原法和氮化對其中包含特細碳粒子的硅膠進行處理后得到氮化硅納米�。硅膠中的特細碳粒子是由葡萄糖在1200-1350℃分解產生的�

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