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氮化錳的主要�(yīng)�

來源:http://aloho.com.cn/news928499.html�(fā)布時間:2022/2/16 0:00:00

氮化�中間合金�(chǎn)品的研究對金屬錳深加工產(chǎn)�(yè)具有重要的現(xiàn)實意義及�(jīng)濟價�。由于錳、氮的各種作用,在煉制高強度�、不銹鋼、耐熱鋼時需要同時加人錳、氮元素。以單質(zhì)形式加入�、氮兩種元素�,存在如氮的溶解度低、密度小、不易加入及氮的添加量不易控制等缺點。然�,以氮錳化合物形式加入時,不僅易于加�,并且錳、氮的利用率也高,因此研�氮化�的制備工藝有著重要意�,同��氮化�制品市場前景遠大�

氮化錳的主要�(yīng)�
    傳統(tǒng)的Mn基阻擋層主要通過PVD共沉積CuMn�(fù)合材�,然后使用熱退火處� 使Mn擴散至介�(zhì)表面來實�(xiàn)。但是,在退火過程中,Cu與low-k(比如SiCOH)介�(zhì)直接接觸� 將會�(dǎo)致Cu在介�(zhì)材料中擴�;而且形成的MnSixOy薄膜�(dǎo)電性較�,一般為絕緣體,會導(dǎo)� RC延遲增加�
     CN201810068633�4克服了傳�(tǒng)方法制備的Mn基阻擋層的不�,提出一種導(dǎo)電性良�,薄膜厚度精確可�,薄膜的組成和厚度均�,且可以在三維結(jié)�(gòu)中實�(xiàn)均勻覆蓋的MnxNy薄膜(其中x和y分別代表Mn和N在薄膜中的相對原子比)制備方�,并且與目前集成電路后道 Cu互連技�(shù)相兼�,具有很好的市場�(yīng)用前��
     以上的資料是小編總結(jié)的相�(guān)氮化錳的主要�(yīng)用的一些資�,希望對大家有所幫助,大家如果想要了解更多的�,可以關(guān)注我們的�(wǎng)站,小編看到會及時回�(fù)��

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