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氮化硅廠家列舉幾種常見制備方�
來源:http://aloho.com.cn/news1019589.html�(fā)布時(shí)間:2024/5/15 15:14:00
氮化�是一種無�(jī)�,化�(xué)式為Si?N?,具有多種優(yōu)異性能,因此在多�(gè)�(lǐng)域都有廣泛的�(yīng)��氮化硅廠��(zhǎng)期生�(chǎn)及提�氮化�,在生產(chǎn)方面有著豐富的經(jīng)�(yàn),了解幾種常見的制備方法。下面將向大家列舉幾種常見的制備方法�
反應(yīng)燒結(jié)法(RS):先采用一般成型法,將硅粉壓制成所需形狀的生�,然后放入氮化爐�(jìn)行預(yù)氮化(部分氮化)燒結(jié)處理。預(yù)氮化后的生坯已具有一定的�(qiáng)�,可以�(jìn)行各種機(jī)械加�。在硅熔�(diǎn)的溫度以�,將生坯再一次�(jìn)行完全氮化燒�(jié),得到尺寸變化很小的�(chǎn)��
熱壓燒結(jié)法(HPS):這是將Si3N4粉末和少量添加劑(如MgO、Al2O3、MgF2、Fe2O3等)混合�,在1916 MPa以上的壓�(qiáng)�1600 ℃以上的溫度�(jìn)行熱壓成型燒�(jié)的方��
常壓燒結(jié)法(PLS):在提高燒�(jié)�?dú)夥諌毫Ψ矫?,利用Si3N4分解溫度升高的性質(zhì),在1700-1800℃溫度范圍內(nèi)�(jìn)行常壓燒�(jié)�,再�1800-2000℃溫度范圍內(nèi)�(shí)施氣壓燒�(jié)�
熱反�(yīng)法:這是氮化硅早期的制備方法之一,主要通過高溫下氨氣和硅粉的反�(yīng)生成氮化�。這種方法�(jiǎn)單、易操作,但�(chǎn)物純度較低,且熱反應(yīng)溫度要求較高�
氣相沉積法:這是一種化�(xué)氣相沉積(CVD)技�(shù),主要利用氮?dú)夂凸铓饣旌衔镌诟邷叵路磻?yīng)生成氮化硅薄�。這種方法具有成本�、反�(yīng)速率快等�(yōu)�(diǎn),同�(shí)可以用于制備高質(zhì)量的氮化硅薄��
液相沉積法:利用液體反應(yīng)物將氮化硅生�(zhǎng)在硅晶片等基片上的一種制備方法。該方法具有工藝�(jiǎn)�、控制方便等�(yōu)�(diǎn),但生長(zhǎng)速率較慢,且可能涉及有毒物質(zhì)的使��
此外,還有溶�-凝膠法等其他制備氮化硅的方法。這些方法各有�(yōu)缺點(diǎn),具體選擇哪種方法取決于�(yīng)用需求、設(shè)備條�、成本預(yù)算等因素。在制備氮化硅的過程�,原料的選擇、預(yù)處理、反�(yīng)條件控制、產(chǎn)物處理等�(huán)節(jié)都非常重�,需要準(zhǔn)確控制以確保�(chǎn)品的�(zhì)量和性能�
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